自1985年啁啾脈沖放大技術(shù)發(fā)明以來，許多研究小組對強(qiáng)飛秒
激光脈沖與物質(zhì)的相互作用進(jìn)行了廣泛的研究。通過這些研究，目前利用
飛秒激光技術(shù)進(jìn)行高
精度材料加工的過程已經(jīng)在工業(yè)界找到了創(chuàng)新性的應(yīng)用機(jī)會。與傳統(tǒng)
激光器相比，飛秒激光材料加工技術(shù)可以顯著減少材料上的熱效應(yīng)。這是因?yàn)轱w秒激光脈沖將能量傳導(dǎo)到材料中所需要的時(shí)間比光電
耦合的時(shí)間要短，能量還來不及被擴(kuò)散到周圍媒介中，受熱的材料就已經(jīng)被噴射出來了。
0KNH=;d} Q&:92f\y 此外，飛秒激光脈沖聚焦后所具有的光強(qiáng)峰值高，因此，它不只可以加工透明材料的表面，也能夠進(jìn)行內(nèi)部結(jié)構(gòu)的加工。與傳統(tǒng)
激光加工技術(shù)相比，飛秒激光加工技術(shù)的這些優(yōu)勢為它開拓了廣泛的應(yīng)用前景。
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納米級周期結(jié)構(gòu)的加工
"!w[U{ &@` H^8 最近的研究指出，利用飛秒激光器來進(jìn)行表面納米級周期結(jié)構(gòu)的加工有助于材料表面的功能化。當(dāng)飛秒激光對材料表面進(jìn)行輻照時(shí)，具有亞微米級周期率的納米級周期結(jié)構(gòu)能夠以一種自組裝的方式自動生成。圖1給出了在硅晶圓上所形成的這類結(jié)構(gòu)，而這種結(jié)構(gòu)還可以在
金屬、陶瓷材料、
半導(dǎo)體和玻璃等材料中形成。這項(xiàng)技術(shù)的主要應(yīng)用包括：減小精密滑動零件的摩擦損耗，比如汽車引擎元件；改善涂層的粘結(jié)強(qiáng)度；防止微粒的吸附；控制濕潤性。佳能機(jī)械公司制造并銷售一種飛秒激光表面加工系統(tǒng)——Surfbeat R，它配備了Cyber激光公司的工業(yè)級飛秒激光器IFRIT。
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