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    [轉(zhuǎn)載]紫外激光在微細加工技術(shù)中的優(yōu)勢研究 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-03-02
    1 引言 DMA7eZf'Hv  
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    激光技術(shù)是20世紀與原子能、半導(dǎo)體及計算機齊名的四項重大發(fā)明之一.四十多年來,隨著小型電子產(chǎn)品和微電子元器件需求量的日益增長,對于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點材料)的精密處理日漸成為激光在工業(yè)應(yīng)用中發(fā)展最快的領(lǐng)域之一. f.`