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激光在軍事和工業(yè)領(lǐng)域廣泛應用以來，各種控制手段伴隨著這種全新的加工工具在各行各業(yè)不斷的進步，如今，高頻高精度控制成為激光應用的一個必不可少的環(huán)節(jié)，隨著各種新型激光模式的出現(xiàn)，自動控制也正在
激光加工的舞臺上以日益精密的技術(shù)展現(xiàn)著自己的風采。
}@ Z56 sUJ%x#u}Fk 80年代中期，激光在中國工業(yè)應用領(lǐng)域開始嶄露頭角，90年代初，由于工具行業(yè)出口量的增加，激光標刻開始成為必不可少的加工手段。激光標刻屬于一個比較特殊的行業(yè)，其原理是利用聚焦后的光束對作用物表面進行短時間淺層刻蝕或燒蝕，使其作用區(qū)異于未處理區(qū)以達到標記的目的。由于對加工效率和效果有著非常高的要求，因此，從一開始高速度和高精度的自動控制在這一領(lǐng)域就得到了長足的發(fā)展，從1995年到2002年短短的7年時間，控制在激光標刻領(lǐng)域就經(jīng)歷了大幅面時代、轉(zhuǎn)鏡時代和振鏡時代，控制方式也完成了從軟件直接控制到上下位機控制到實時處理、分時復用的一系列演變，如今，
半導體激光器、
光纖激光器、乃至紫外激光的出現(xiàn)和發(fā)展又對
光學過程控制提出了新的挑戰(zhàn)。
s#~GH6/ ^zzP. 以控制對象分類，標刻控制可以分為三種：光束控制、對象控制和飛行控制。其中，光束控制是應用最廣泛的，對象控制主要是針對特殊行業(yè)，而飛行控制將是激光標刻控制在未來的主要發(fā)展方向。顧名思義，光束控制指固定作用對象，直接控制光束在作用物表面的移動和停留，由于作用對象的尺寸和質(zhì)量不盡相同，直接控制對象的方式難以提高加工速度，因此這種控制手段從一開始就成為主要的控制方式；對象控制指固定光束，控制作用對象的移動和停留，這種控制手段主要應用在對象體積比較小、質(zhì)量比較輕，同時對控制精度要求比較高而控制過程不太復雜的行業(yè)，例如硅片、晶元和工業(yè)用陶瓷等材料的劃片行業(yè)；飛行控制指同時控制光束和對象的移動和停留，這種控制將成為激光在流水線應用的主要控制手段，優(yōu)點是速度快，自動化程度高，是后工業(yè)時代激光加工的主流控制模式。最主流的光束控制方式在中國共經(jīng)歷了三個時代的演變。
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