激光材料加工涉及范圍很廣，材料的燒結(jié)、打孔、打標(biāo)、切割、焊接、表面改性和化學(xué)氣相沉積等都已把激光作為一種必不可少的能源。
{q8|/{; EDgtn)1 激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合于
精密加工。我們按照加工材料的尺寸大小和加工的
精度要求，將目前的
激光加工技術(shù)分為三個(gè)層次：
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" ①大型件材料激光加工技術(shù)，以厚板（數(shù)毫米至幾十毫米）為主要對(duì)象，其
加工精度一般在毫米或者亞毫米級(jí)；
ff.k1%wr^ �、诰芗す饧庸ぜ夹g(shù)，以薄板（0．1～1．0 mm）為主要加工對(duì)象，其加工精度一般在十微米級(jí)；
Q34u>VkdQI �、奂す馕⒓�(xì)加工技術(shù)，針對(duì)厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對(duì)象，其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級(jí)。
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4f# 必須說(shuō)明的是，在機(jī)械行業(yè)中，精密通常是指表面粗糙度小、各種
公差（包括位置、形狀、尺寸等）范圍小。但本文所說(shuō)的“精密”一詞，是指被加工區(qū)域的縫隙小，意即加工所能達(dá)到的極限尺寸小。在上述三類(lèi)激光加工中，大型件的激光加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟，產(chǎn)業(yè)化的程度已經(jīng)非常高，已有不少的文獻(xiàn)進(jìn)行了綜述；激光微細(xì)加工技術(shù)如激光微調(diào)、激光精密刻蝕、激光直寫(xiě)技術(shù)等也已在工業(yè)上得到了較為廣泛的應(yīng)用，有關(guān)的綜述報(bào)道亦較多；本文將重點(diǎn)對(duì)激光精密加工技術(shù)進(jìn)行討論。為了比較方便，下文所說(shuō)的精密加工所針對(duì)的加工對(duì)象僅限于薄板（0.1-0.1mm）。
B;=Z^$%T iEtR<R>= 1、激光精密加工與傳統(tǒng)加工方法的比較
@~ke=w6&pe Fik ;hB 隨著技術(shù)的進(jìn)步，精密加工技術(shù)的種類(lèi)也越來(lái)越豐富。
Ep./->fOA 激光精密加工有如下顯著特點(diǎn)：
\os"w " r7R'beiH ①激光精密加工的對(duì)象范圍很寬，包括幾乎所有的
金屬材料和非金屬材料。而電解加工只能加工導(dǎo)電材料，光化學(xué)加工只適用于易腐蝕材料，等離子加工難以加工某些高熔點(diǎn)的材料。
4_QfM}Fyp �、诩す饩芗庸べ|(zhì)量的影響因素少，加工精度高，在一般情況下均優(yōu)于其它傳統(tǒng)的加工方法。
/fT"WaTEK �、蹚募庸ぶ芷趤�(lái)看，電火花加工的工具電極精度要求高、損耗大，加工周期較長(zhǎng)；電解加工的加工型腔、型面的陰極模設(shè)計(jì)工作量大，制造周期亦很長(zhǎng)；光化學(xué)加工工序復(fù)雜；而激光精密加工操作簡(jiǎn)單，切縫寬度方便調(diào)控，加工速度快，加工周期比其它方法均要短。
!% W5@tN �、芗す饩芗庸儆诜墙佑|加工，沒(méi)有機(jī)械力，相對(duì)于電火花加工、等離子弧加工，其熱影響區(qū)和變形很小，因而能加工十分微小的零部件�！ �
@B >D>B ]aF; 綜上所述，激光精密加工技術(shù)比傳統(tǒng)加工方法有許多優(yōu)越性，其應(yīng)用前景十分廣闊。
gw,K*ph}q X+A@/ /,7 2、常用的激光精密加工設(shè)備簡(jiǎn)介
tUUL px.h >>KI_$V 一般用于精密加工的
激光器有：co2激光器，yag激光器，銅蒸汽激光器，準(zhǔn)分子激光器和co激光器等，其激光器特性詳見(jiàn)文獻(xiàn)〔6，8，12－16〕。其中大功率co2激光器和大功率yag激光器在大型件激光加工技術(shù)中應(yīng)用較廣；而銅蒸汽激光器和準(zhǔn)分子激光器在激光微細(xì)加工技術(shù)中應(yīng)用較多；中、小功率yag激光器一般用于精密加工。
+0%r@hTv&> XTF[4#WO 3、激光精密加工的應(yīng)用及國(guó)內(nèi)外發(fā)展概況
