[轉(zhuǎn)載]微熱成型技術(shù)介紹 [復(fù)制鏈接]

微型部件的制造一直是屬于注射成型技術(shù)的應(yīng)用范疇，然而，一種“神奇”的熱成型加工技術(shù)卻能夠生產(chǎn)出高質(zhì)量的微型部件。在第16屆SPE熱成型技術(shù)年會上，人們討論了微熱成型工藝，提出了該工藝在微電子機械市場領(lǐng)域中的巨大應(yīng)用潛力。人們同時討論的技術(shù)還包括：“類鉻效果”的TPO部件、可降低成型周期的“四運動工位活塞”，以及可快速更換模具的PD500 Mega 氣缸。 cq:<,Ke  
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微熱成型技術(shù) ;e Iqxe>  
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德國Forschungszentrum Karlsruhe公司的微結(jié)構(gòu)技術(shù)研究院是一家大型的、以政府基金為基礎(chǔ)的研究機構(gòu)。該機構(gòu)的研究人員開發(fā)了實驗室規(guī)模的熱成型工藝，據(jù)說該工藝可成型尺寸在0.1～1000nm之間（1000nm＝1μm）的微型部件，首次達到了工業(yè)標準的微成型要求。開發(fā)該工藝的目的是為了滿足生命科學(xué)領(lǐng)域?qū)ξ⑿筒考�的需求，如用于藥學(xué)研究的生化試劑的合成與分析用一次性LOC微射流裝置。 O&BNhuW2  
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作為一種微觀改進的技術(shù)，這種新的熱成型系統(tǒng)包括3個部分：帶有微型型腔的平板模具，一臺用于產(chǎn)生真空和氣壓的帶孔壓板，以及模具與壓板之間的密封設(shè)施。其工藝過程是：將模具安裝到一臺實驗室用的壓機上，然后將一片塑料薄膜（20～50μm）嵌入模具中。壓機閉合后，盡管在模具與壓板之間的薄膜沒有被壓緊，但是仍然獲得了一定的真空度。隨著模具的完全閉合，薄膜被壓緊，同時也被加熱，當(dāng)薄膜達到熱變型溫度以后，就會在大約50bar的氣壓作用下流入模具型腔中，這時模具已經(jīng)冷卻到20℃，低于材料的熱變型溫度。隨著氣壓的下降，模具打開，微型部件即被成型出來。 Q^13KWvuV  
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據(jù)介紹，該工藝中使用的模具可以通過機加工、EDM、光刻、電鍍、濕法或干法蝕刻、激光等技術(shù)進行加工。金屬、陶瓷、玻璃和硅碳化合物可用作模具材料。該工藝可使用50μm厚的聚苯乙烯、聚碳酸酯或者環(huán)狀烯烴共聚物薄膜。 !