[分享]激光干涉儀工作原理介紹 [復(fù)制鏈接]

作者：梁晉文 花國梁  文章來源：網(wǎng)絡(luò) @ Wd9I;hWv  
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激光干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現(xiàn)的,最初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(tài)（溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59％、C O2 含量0.03％）下的測量精確度很高，可達1×10。 dHv68*^\'  
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