三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)種類繁多、形式各異、性能多樣，所測(cè)對(duì)象和放置環(huán)境條件也不盡相同，但大體上皆由若干具有一定功能的部分組合而成。
I"*g-ji0 s&Y~ 48{ 作為一種測(cè)量?jī)x器，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)主要是比較被測(cè)量與標(biāo)準(zhǔn)量，并將比較結(jié)果用數(shù)值表示出來。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)需要3個(gè)方向的標(biāo)準(zhǔn)器（標(biāo)尺），利用導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)沿相應(yīng)方向的運(yùn)動(dòng)，還需要三維測(cè)頭對(duì)被測(cè)量進(jìn)行探測(cè)和瞄準(zhǔn)。此外，測(cè)量機(jī)還具有數(shù)據(jù)處理和自動(dòng)檢測(cè)等功能，需由相應(yīng)的電氣控制系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)軟硬件實(shí)現(xiàn)。
9ZUG~d7_ oz%ZEi \bW 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可分為主機(jī)、測(cè)頭、電氣系統(tǒng)三大部分。
Y cE:KRy Hx2.2 A^ 主機(jī)結(jié)構(gòu)分為：
u9}}}UN! Z 2Fm=88 1、框架，是指測(cè)量機(jī)的主體機(jī)械結(jié)構(gòu)架子。它是工作臺(tái)、立柱、橋框、殼體等機(jī)械結(jié)構(gòu)的集合體；
X<ZIeZBn Y[Us"K` 2、標(biāo)尺系統(tǒng)，是測(cè)量機(jī)的重要組成部分，是決定儀器精度的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)所用的標(biāo)尺有線紋尺、精密絲桿、感應(yīng)同步器、光柵尺、磁尺及光波波長(zhǎng)等。該系統(tǒng)還應(yīng)包括數(shù)顯電氣裝置。
<QT u" i rP,i,1Ar 4 3、導(dǎo)軌，是測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)的重要部件。測(cè)量機(jī)多采用滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)軸承導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，而以氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。氣浮導(dǎo)軌由導(dǎo)軌體和氣墊組成，有的導(dǎo)軌體和工作臺(tái)合二為一。氣浮導(dǎo)軌還應(yīng)包括氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等一套氣體裝置。
P "W$ZX 2?rg&og6 4、驅(qū)動(dòng)裝置，是測(cè)量機(jī)的重要運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)機(jī)動(dòng)和程序控制伺服運(yùn)動(dòng)的功能。在測(cè)量機(jī)上一般采用的驅(qū)動(dòng)裝置有絲桿絲母、滾動(dòng)輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動(dòng)輪等傳動(dòng)，并配以伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)正在增多。
i{PRjkR /ow/)\/} 5、平衡部件，主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。它的功能是平衡Z軸的重量，以使Z軸上下運(yùn)動(dòng)時(shí)無偏得干擾，使檢測(cè)時(shí)Z向測(cè)力穩(wěn)定。如更換Z軸上所裝的測(cè)頭時(shí)，應(yīng)重新調(diào)節(jié)平衡力的大小，以達(dá)到新的平衡。Z軸平衡裝置有重錘、發(fā)條或彈簧、氣缸活塞桿等類型。
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