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微操作機(jī)器人系統(tǒng)的研究開發(fā) [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-07-21

畢樹生　宗光華摘自：中國(guó)機(jī)械工程

微機(jī)械電氣系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)這一前沿技術(shù)主要涵蓋以下研究專題：①集成化微型儀器與傳感器；②微加工與測(cè)試技術(shù)；③微操作系統(tǒng)。


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微操作機(jī)器人系統(tǒng)的研究開發(fā) [復(fù)制鏈接]