畢樹(shù)生 宗光華 摘自：中國(guó)機(jī)械工程
B\} B
H 6t(I.>- 微機(jī)械電氣系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)這一前沿技術(shù)主要涵蓋以下研究專(zhuān)題：①集成化微型儀器與傳感器；②微加工與測(cè)試技術(shù)；③微操作系統(tǒng)。
5W=jQ3 C 4P\?vz" 微操作系統(tǒng)作為MEMS研究領(lǐng)域的一個(gè)重要分支受到各發(fā)達(dá)國(guó)家的高度重視，紛紛投入大量資金進(jìn)行微操作機(jī)器人系統(tǒng)的研究，現(xiàn)已研制出多種各具特色的微操作機(jī)器人實(shí)驗(yàn)樣機(jī)系統(tǒng)［1］。
-THU5AB 1P+Te,I 自1993年起，在國(guó)家自然科學(xué)基金資助下，北京航空航天大學(xué)開(kāi)始從事微操作機(jī)器人的研究，研究?jī)?nèi)容主要集中于各單元技術(shù)。經(jīng)過(guò)幾年的技術(shù)儲(chǔ)備，研究重點(diǎn)開(kāi)始由各單元技術(shù)轉(zhuǎn)向系統(tǒng)集成及應(yīng)用，如微操作系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型、微動(dòng)仿生機(jī)構(gòu)綜合理論、基于圖像的視覺(jué)伺服理論、精細(xì)微操作系統(tǒng)的光-機(jī)-電集成設(shè)計(jì)方法等，并把生物工程作為微操作機(jī)器人系統(tǒng)的主要應(yīng)用領(lǐng)域。
\@i4im@%xU "G3zl{?GP 把生物工程作為微操作機(jī)器人的應(yīng)用領(lǐng)域，目的可以解釋為2點(diǎn)：①?gòu)膽?yīng)用層面說(shuō)，目標(biāo)相當(dāng)明確地界定在“面向生物工程”上，如細(xì)胞操作、基因轉(zhuǎn)移、染色體切割等，希望給下一世紀(jì)中國(guó)的“綠色革命”帶來(lái)推動(dòng)作用。②從技術(shù)層面說(shuō)，定位在基于顯微視覺(jué)全局閉環(huán)的計(jì)算機(jī)伺服自動(dòng)協(xié)調(diào)作業(yè)上。長(zhǎng)遠(yuǎn)觀之，其相關(guān)技術(shù)與微加工、微電子、顯微醫(yī)學(xué)等可觸類(lèi)旁通。
lwuslt*E/ ^`XTs!. 1 微動(dòng)并聯(lián)機(jī)器人［2］
O'}
% Bjl z4 yV1
