我們公司是做mirror的，可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機(jī)為直立式)，大小在0.3~0.4mm，實(shí)在是很難解決，靶材距離基板150mm，膜層第一層有打底，我想問的是：
2!idy]vy_ 1.靶材和基板距離對(duì)針孔產(chǎn)生會(huì)有影響嗎？
T*R{ L 2.磁場(chǎng)分佈不均勻會(huì)有影響嗎？
q- H& 5K 3.基板材質(zhì)會(huì)有影響嗎？
Zd+> 4.不同底層會(huì)有影響嗎？
7O9n!aJ 5.機(jī)臺(tái)內(nèi)部環(huán)境(粉塵)會(huì)有影響嗎？
