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摘要 fqu}Le -7!&@wuQ 復雜光學光柵結構被廣泛用于多種應用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結構嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設置堆棧的幾何形狀,從而產生復雜的光柵結構。本案例主要集中于具有二維周期光柵結構的配置。 81*M= ? `<[6YH_ 1. 本案例主要說明: .vG,fuf8 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結構,通過: -uh(?])H - 基于介質的定義類型 ];%0qb - 基于表面的定義類型 ;L&TxO>#J 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結構。 t*@z8<H 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結構稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 exdx\@72 -YD+(c`l 2. 光柵工具箱初始化 L#)(H^[ 初始化 _ pO
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