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摘要 =X;h _GQ :I2spBx 通常,計算模型中假設的理想化結果明顯偏離現(xiàn)實。 其中一個例子是在蝕刻結構中具有尖銳邊界的微結構的設計:制造技術不能實現(xiàn)完美的銳利壁,而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應用于所設計結構的銳利結果,根據(jù)用戶指定的值對其邊緣進行圓整,以便分析更真實的結構。 w
y&yK*w _&RGhA '[vCC' 'x,6t66*"l 用于平滑結構邊緣的可編程模塊 +,zV
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