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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 07-24
    摘要 pxn@rN#*  
    W{c Z7$d  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應(yīng)。 #{?~XS  
    z'7XGO'Lo  
    v[r 8-0c  
    7"F29\  
    建模任務(wù) FGzKx9I9  
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    b:cy(6G(  
    概述 ^GlzKl   
    4xH/a1&p=  
    •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 [8~P