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摘要 pxn@rN#* W{c
Z7$d 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應(yīng)。 #{?~XS z'7XGO'Lo v[r8-0c 7"F29\ 建模任務(wù) FGzKx9I9 l0U23i b:cy(6G( 概述 ^GlzKl
4xH/a1&p= •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。
[8~P
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