1.摘要
OY$P8y3MY M8j%bmd(, 白光干涉儀是一種非接觸測量技術,用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統和一個氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。
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;E"ov] /4w"akB|P gQHE2$i> 2. 建模任務
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;; 3. 干涉條紋的變化
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