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摘要 _|3n h;-m H'+P7*k#M 斐索干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 mAz':R[ >>p3#~/ M*nfWQ
a Zx@{nVoYe~ 建模任務(wù) R ~#\gMs ds`a6>746 e(cctC|l %A04'dj`zQ 傾斜平面下的觀測(cè)條紋 cJ&%XN {A{=RPL tJc9R2 ? r^+- 圓柱面下的觀測(cè)條紋 qjuX16o =F6J%$ DJhi>!xJ aB.`'d)V 球面下的觀測(cè)條紋 .Gw;]s3 '6WaG
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