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摘要 w\ :b(I E .3}a>f 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 *LVM}| f Yp)U'8{h c
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{P5@2u6S 光柵詳細說明 #Q"vwek
#j JcgR<
 #.)>geLC>9 $5IrM 7i •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 ("6W.i> •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 r;C \eN a\w | tf 光柵階次分析器設置 bM-Rj1#Lo Kd)m"9Cc •定義光柵結構后，可以配置光柵階次分析器。 _
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