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作為衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法,薄元近似(TEA)在計(jì)算薄衍射元件的衍射效率時(shí)非常有效。 但在另一方面,當(dāng)衍射光柵的周期小到可以與波長相比較時(shí),這種近似將會(huì)變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓(正弦和閃耀),并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進(jìn)行分析,用來比較兩種方法的結(jié)果。 hw5NHZ I' kh4., \' 用于光柵建模的TEA與FMM WHF[l1 c/6
*;ehSg9 我們同時(shí)使用TEA和FMM(也稱為RCWA)來分析兩種周期不同的光柵(正弦光柵和閃耀光柵),并比較了兩種方法的結(jié)果。 [,bra8f[C !l(D0 C 閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析 F>F2Yql&W &u`]Zn
T0;8koj^_ 在VirtualLab Fusion中,傅里葉模態(tài)方法(FMM)可用于光柵效率的嚴(yán)格分析。 \k4em{K
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