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在衍射光學中,當周期性結構被準直光照射時,可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結構的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應(用所謂的 Talbot 距離來描述周期性間隔),它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規(guī)應用。 利用快速物理光學建模和設計軟件VirtualLab Fusion的場跟蹤技術,可以充分研究這種效應及其應用。請看下面的例子,在這些例子中,我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應的基本原理,并更仔細地研究特定的光刻應用,以產(chǎn)生納米結構。 圓錐相位掩模版的泰伯成像 |