1.
摘要 Ye4
&4t ==?%]ZE8 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
T+~&jC:{ l l*g *zt3 3!@&7@p D4(73 2. 建模任務(wù)
I4w``""c lul