1.
摘要 .*+jD^Gr bQN3\mvY 白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個(gè)氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等
光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。
5~[][VV^ 0Q#}: F_/ra?WVH W"t^t|H'~ 2. 建模任務(wù)
\fvm6$ rZ^ T.%yeJiE heWQPM|s &VCg`r-{~ 3. 干涉條紋的變化
+l]>(k.2 @a=jSB#B y>T> #Lk~{ 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion
{C8IYBm {od@Sl 5vS[{;<& R S>qP;V*- 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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