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摘要 g/n"N>L f4@#pnJ3po <uWJ>sg^6 (AyRs7Dkn 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 juve9HaW 'xu7AKpU) 建模任務(wù) j,gM+4V^ A61-AwvF8- qqO10~Xc 6 ^6uK 由于組件傾斜引起的干涉條紋 y7}~T!UyfF 7@e[:>e A-@-?AR Ed ?Yk* 4 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 52q!zx E [8om9 Z3 =:0IHyB#0 ;Kq<',u~
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