摘要 J$1H3#VVG Wmcd{MOS 共聚焦掃描
顯微鏡在 1950 年代由 M. L. Minsky 發(fā)明并獲得
專利,后來又以采用
激光作為
光源的新穎性獲得了廣泛的應(yīng)用。 通過使用空間針孔來阻擋從焦平面外散射或反射的光,有助于提高縱向
分辨率和對比度。 在本例中,我們在
VirtualLab Fusion 中構(gòu)建了一個共聚焦掃描顯微鏡,并使用具有交替脊和凹槽的金屬
光柵作為測試對象來演示其工作
原理。
d:K\W[$Bz QE[<Y3M 建模任務(wù)
iD_y@+iz wT": 共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的,它如何檢測物體橫向位移導(dǎo)致的
功率變化?
|JYb4J4Ni 9N9&y^SmD 焦點(diǎn)區(qū)域的探測場 #Iz)Mu ..u{v}4& s)qrlv5H 測試對象的直接反射 ;Hk3y+&]a ZuGd{p$ <nbklo 測試對象的直接反射 *
CR#D}F <F0^+Pf/ ;i6~iLY 測試對象的像 bGeIb-|( 9!Mh(KtQ \/3(>g?4 測試對象的像 kpn|C 9r tjXg PtW2S 1?j 功率測量與測試對象的橫向偏移