[技術(shù)]用于光柵仿真的非偏振光 [復(fù)制鏈接]

摘要 `>`{DEDx{5  
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光柵等光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振很敏感。 因此，在仿真中正確考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)踐中，光柵有時(shí)使用非偏振光作為輸入。 我們展示了如何將這種非偏振光建模為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值，用于 VirtualLab Fusion 中的光柵仿真。 提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 M U2];  
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光柵仿真中的非偏振光 AUR{O  
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• 光柵分析 $HV`bJ5!L*  
– 對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來計(jì)算 /fxv^C82yv  
例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。 N'8}5Kx5  
• 非偏振平面波 hle@= e/n  
– 考慮沿 z 方向的平面波，可以認(rèn)為非偏振光在統(tǒng)計(jì)上可以同時(shí)具有任何偏振狀態(tài)。 _u;34H&/  
– 可以將任意偏振態(tài)投影到兩個(gè)正交狀態(tài)上； 統(tǒng)計(jì)上，非偏振光沿著形成這個(gè)正交基礎(chǔ)的兩個(gè)狀態(tài)給出了相等的投影。 _"qX6Jc  
– 因此，我們可以以非相干的方式使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值來表示非偏振光。 do@BJWo  
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光柵仿真中的光源設(shè)置 Xyw;Nh!!d  
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•  光源偏振態(tài)的手動(dòng)控制 $9<P3J 1  
– 光在 VirtualLab Fusion 中始終以矢量形式表示，用戶可以完全控制光源設(shè)置中的偏振狀態(tài)。 7XiR)jYo*  
– 遵循基本概念，可以根據(jù)非偏振光的需要，使用特定的輸入偏振態(tài)進(jìn)行光柵模擬。。 例如，通過選擇 TE 和 TM 偏振作為兩個(gè)正交基態(tài)，我們可以對(duì)兩種配置獨(dú)立執(zhí)行光柵仿真，然后通過功能區(qū)菜單功能手動(dòng)平均結(jié)果（如下所述）。 1Gk'f?dw