摘要
c ef[T(> vo f8bQ{& 
g3].STz6w u"q5 6}Q?] 由于相位和
結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，
衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計(jì)，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進(jìn)行額外嚴(yán)格的后
優(yōu)化，至少建議進(jìn)行嚴(yán)格的分析。在這個(gè)用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評估。為此，對初始
系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了
參數(shù)化，并通過可編程
光柵分析器定義了一組自定義的評價(jià)函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。
||JUP} eP L/ Q[N^ (^ 建模任務(wù)
Asv]2> x Z/%FQ 
XjF@kQeM= *#'j0;2F 衍射分束面初始設(shè)計(jì)(*)
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M 1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計(jì)工具計(jì)算了分束器的初始相位函數(shù)。
]R_R` X? 2. 對于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
R| n =n HKTB> (*)不是這個(gè)用例的一部分 (**)這些會話編輯器在衍射
光學(xué)工具箱銀版中可用。
i+h*<){X k?Z:=.YW TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性
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7Y9#y{v1 ao2 ^3e TEA非常適合于最小特征尺寸不小于約5倍
波長的情況。如果不是這樣，振幅/相位分布與設(shè)計(jì)高度輪廓相互作用后可能會顯示出與期望值的相關(guān)偏差。
O;~e^ <* 因此，需要進(jìn)行嚴(yán)格的評估。
is4}s,]$6 對于參數(shù)優(yōu)化，需要對結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)進(jìn)行不同的定義。
hE|P|0U,n sqrLys_S 后優(yōu)化的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備(參數(shù)化)
x=t(#R m =SXdO)%2 
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+_n@t" T9
/;$6s* 衍射分束器表面進(jìn)一步優(yōu)化
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3]l)uoNt/ D`T;j[SsS# 哪個(gè)衍射級次有哪些評價(jià)函數(shù)？
w}gmVJ#p !l9{R8m>eJ 
tw_o?9 iM@$uD$_Q2 利用可編程光柵分析器
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Z< x~V[ }4E%> 分束器初始設(shè)計(jì)的嚴(yán)格分析
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nF@**,C Q K6kz{R%` 設(shè)置優(yōu)化參數(shù)
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2aj1IBnz6/ 4.!1odKp 兩個(gè)優(yōu)化過程對比
jVQy{8{G 在這個(gè)用例中，我們演示了兩種具有不同配置目標(biāo)和約束的優(yōu)化：
VBX)xQazU 在優(yōu)化#1中，優(yōu)先考慮均勻性誤差。
pR61bl) 在優(yōu)化#2中，0級也要最小化。
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4j#y?^s 關(guān)于評價(jià)函數(shù)約束，用戶可以指定
ZwkUd-=0i 單獨(dú)的目標(biāo)值、范圍、下限或上限是什么
ib=)N)l 以及通過權(quán)重，它們的貢獻(xiàn)應(yīng)該是什么。
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ye(b 7CX 在優(yōu)化過程中，采用了內(nèi)建的下降單純形算法
tm+*ik=x| !Y ,7 % 評價(jià)函數(shù)約束的配置
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P_(8+)ud- 5( +9a 優(yōu)化#1(優(yōu)先級=均勻性誤差)
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C[ L 5H [E1qv; 優(yōu)化#2(優(yōu)先級=均勻性誤差&低0級)
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