摘要
Z os~1N]3 \{&55>
F-Theta
透鏡通常用于Galvo類掃描儀的
激光材料加工
系統(tǒng)。 對(duì)于這樣的
鏡頭，聚焦點(diǎn)沿目標(biāo)平面的位移與鏡頭
焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，沒有完美的 F-Theta 系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中都會(huì)出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理
光學(xué)建模和設(shè)計(jì)
軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源，我們通過測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差來(lái)分析給定 F-Theta 透鏡的性能。
V~+Unn
