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    [技術]TRCX應用:顯示面板工藝裕量分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 03-04
    制造顯示面板的主要挑戰(zhàn)之一是研究由工藝余量引起的主要因素,如CD余量,掩膜錯位和厚度變化。TRCX提供批量模擬和綜合結果,包括分布式計算環(huán)境中的寄生電容分析,以改善顯示器的電光特性并最大限度地減少缺陷。 Cm$1$?J  
    VvbFp  
    (a)參照物
    Q~D`cc|]  
    +eX)48  
    (b)膜層未對準
     
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