光柵是許多
光學(xué)工程師的基本工具，因為它們的
物理特性(將入射光
衍射成一組離散的級次)使它們在許多不同的配置和許多不同的應(yīng)用中都是非常有吸引力的工具。然而，研究主要的興趣是給定光柵設(shè)置如何能夠容許例如制造過程產(chǎn)生的與設(shè)計
參數(shù)的小偏差。請查看下面的文檔，找到我們根據(jù)其填充因子
優(yōu)化傾斜光柵的示例。我們使用新發(fā)布的Parameter Variation Analyzer來執(zhí)行設(shè)置的容差分析，并計算一個評價函數(shù)，該函數(shù)計算了不同填充因子下工作級次的平均效率。
VSms
