摘要
hBX*02p Q7aPW\- 分析特定
衍射級(jí)的衍射效率是
光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光
波長(zhǎng)相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場(chǎng)信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。
JUr
t %2 w7@`:W 
?62Im^1/ T aS1%( 光柵規(guī)格
;?/5Mr 5pJe`}O4 •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。
n2K1X !E$ •操作中的層，提供高反射（HR）功能。
,\6Vb*G|E> •光柵
參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對(duì)話框中完成。
t<UJR*R=L r84 ^/+"T 
L?h?LZnq &4:R(]| 光柵級(jí)次分析器設(shè)置
`q3 6`W n Z5v dH5?!r •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級(jí)次分析器計(jì)算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。
}nlS&gew^ •此外，各種輸出選項(xiàng)可用于顯示結(jié)果。
}M Q:n8
•這是通過分析器的編輯對(duì)話框完成的，該對(duì)話框通過雙擊
光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。
t+U.4mS- =@!t/LR7kg 
i#la'ICwJ FoetP`
通用設(shè)置
v@=qVwX $9`#p/V •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，您可以選擇分析透射或反射。
C 7C4
eW8 •此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。
p^8a<e?f~f −級(jí)次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場(chǎng)/光強(qiáng)在級(jí)次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級(jí)次收集是為傳輸和反射單獨(dú)生成的。有關(guān)級(jí)次收集文檔的更多信息，請(qǐng)參見下一張幻燈片。
M8 ~3 0L −單級(jí)次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級(jí)次”選項(xiàng)卡。（見下頁）
"9_$7.q<y −總和傳輸，吸收和反射：相應(yīng)的信息（即，能量在這三種效應(yīng)中如何分布，不進(jìn)一步將結(jié)果細(xì)分為單個(gè)光柵級(jí)次，而是作為總值）將顯示在探測(cè)器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)
優(yōu)化的結(jié)果。
iAz0 A −極坐標(biāo)圖（角度）：生成另一個(gè)文檔，該文檔提供不同顯示光柵級(jí)次的可視化，其中顯示的角度對(duì)應(yīng)于級(jí)次的衍射角，半徑表示效率。這種類型的可視化僅限于單個(gè)平面。有關(guān)極坐標(biāo)圖文檔的更多信息，請(qǐng)參見下一張幻燈片。
["D!IqI : N6. _J b 
Cx2#
0$ -Rpra0o.
C 單級(jí)次設(shè)置
UQu6JkbLL ;].X;Ky < •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中選擇“單級(jí)次輸出”選項(xiàng)時(shí)，激活“單級(jí)次”選項(xiàng)。您可以在其中選擇應(yīng)記錄的單級(jí)次信息。
;z4J)q w •單級(jí)次輸出控制是否提供有關(guān)單個(gè)級(jí)次（衍射角、效率、瑞利系數(shù)…）的信息（取決于
模擬的運(yùn)行方式，在探測(cè)器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化的結(jié)果）。
3Q$ 4`p; •如果您想使用參數(shù)運(yùn)行或VirtualLab Fusion的參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定級(jí)次的光柵，此選項(xiàng)非常有用。
1D 'r;`z }& vD(hX 
T_D3WH p _RaE: ) 單級(jí)次設(shè)置
c
