. 建模任務(wù) )+w1nw|m 1.1
模擬條件
aUA)p}/: 模擬區(qū)域:0~10
#VVfHCy 邊界條件:Periodic
1EWZA 偏移
角度:12°(Domain A),-12°(Domain B)
uU^iY$w 單位長度:0.5
y*v|q= l"jYY3N|h HPJHA , 1.2堆棧
結(jié)構(gòu) Nd{U|k3pL
ARs]qUY 2. 建模過程 AYpvGl' 2.1設(shè)置模擬條件
TY'61xWi 49c-`[d
L N]6t)Zv 2.2創(chuàng)建堆棧結(jié)構(gòu),修改各層
參數(shù) ?)(-_N&T %H,s~IU 3dolrW 2.3創(chuàng)建掩膜并生成多疇結(jié)構(gòu)
2i1xSKRYrD kRBO] 3. 結(jié)果分析 \xv(&94U 3.1 指向矢分布和透過率
6]kBG?m0 a/1;|1a. P8ZmrtQm 3.2所有疇的V-T曲線
6 .