摘要 zda 3
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&&+H+{_Q j^'go&p 近幾十年來(lái),
CMOS傳感器的像素尺寸已經(jīng)從~10µm縮小到~2µm,甚至更小。通過(guò)減小像素尺寸,可以獲得更高的空間
分辨率。同時(shí),這也給每個(gè)像素上微
透鏡的功能帶來(lái)了問(wèn)題。在本例中,我們研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS傳感器的性能。采用嚴(yán)格的FMM/RCWA進(jìn)行
仿真,以驗(yàn)證微透鏡的有效性。
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