近期,中國(guó)科學(xué)院上海
光學(xué)精密
機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測(cè)中心魏朝陽(yáng)研究員團(tuán)隊(duì)基于CO2激光的缺陷表征與去除過(guò)程,實(shí)現(xiàn)了高抗紫外
激光損傷熔
石英元件制造。相關(guān)研究成果發(fā)表于Light: Advanced Manufacturing。
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$v{sb, 熔石英元件紫外激光誘導(dǎo)損傷問(wèn)題嚴(yán)重制約了高
功率激光
系統(tǒng)的發(fā)展。由于目前接觸式研拋
工藝不可避免得存在加工缺陷,且難以被后處理完全去除,大大降低了熔石英元件使用性能和壽命。
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