哈哈,有人關(guān)注,真好! wHx1CXC
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我還不太了解顯微鏡,上面的表述可能有常識性錯(cuò)誤,海涵海涵! \T/~"
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所謂積分散射顯微鏡呢,主要是針對超光滑表面的,表面粗糙度1A量級,比如微電子中的硅片,以及激光腔的反射片透射片等。 n-#?6`>a
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原理很簡單,入射光打到樣品表面,除了鏡面反射之外,在各個(gè)方向(樣品一側(cè)的2派弧度內(nèi))都有微弱的散射光(Scattering),其強(qiáng)度分布可以從衍射理論推出,稱為ARS分布;而把ARS在半球空間內(nèi)積分,稱為總積分散射(TIS),理論表明,TIS與樣品表面粗糙度之間有個(gè)簡單的關(guān)系,故可以通過測量TIS來得到樣品的表面形貌。 "F7g8vu
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所謂非接觸主要是針對原子力顯微鏡(AFM)來講的,因?yàn)锳FM是可以測量到1A量級的,但是會(huì)損傷表面。 )z=`,\&p:
@j K7bab:
注:A為10的-10次方米。 :05>~bn>pC
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不知我講清楚沒有,歡迎大家繼續(xù)討論。