東北大學(xué)實現(xiàn)用飛秒激光進行石墨烯納米加工

北大學(xué)的研究人員使用飛秒激光成功地進行了石墨烯薄膜的微/納米制造，在沒有損壞的情況下打孔，并去除污染物。該技術(shù)可以取代傳統(tǒng)的、更復(fù)雜的方法，為量子材料研究和生物傳感器開發(fā)提供潛在的進展。 da I-*  
//wmJ |  
石墨烯于2004年被發(fā)現(xiàn)，它已經(jīng)徹底改變了各種科學(xué)領(lǐng)域。它擁有高電子遷移率、機械強度和熱導(dǎo)率等顯著特性。人們投入了大量的時間和精力來探索它作為下一代半導(dǎo)體材料的潛力，催生了基于石墨烯的晶體管、透明電極和傳感器等一系列有用部件。 _I$]L8hC  
FfD2 &(-R  
但是，為了使這些設(shè)備進入實際應(yīng)用，關(guān)鍵是要有高效的加工技術(shù)，可以在微米和納米尺度上構(gòu)造石墨烯薄膜。通常，微/納米尺度的材料加工和設(shè)備制造采用納米光刻技術(shù)和聚焦離子束方法。然而，由于需要大規(guī)模的設(shè)備、冗長的制造時間和復(fù)雜的操作，這些都給實驗室研究人員帶來了長期的挑戰(zhàn)。 qZ1fQN1yG  
vm4]KEyrX  
早在一月份，東北大學(xué)的研究人員創(chuàng)造了一種技術(shù)，可以對厚度為5至50納米的氮化硅薄片進行微/納米制造。該方法采用了飛秒激光，它發(fā)射出極短的快速光脈沖。事實證明，它能夠在沒有真空環(huán)境的情況下快速、方便地加工薄型材料。 jWU)y)$  
}\gpO0Ox  
%+pXzw`B  
通過將這種方法應(yīng)用于石墨烯的超薄原子層，同一小組現(xiàn)在已經(jīng)成功地進行了多點鉆孔而不損壞石墨烯薄膜。他們的突破性細節(jié)于2023年5月16日在《納米通訊》雜志上報道。 6PPvfD^  
xUSIck  
東北大學(xué)先進材料多學(xué)科研究所的助理教授、該論文的共同作者Yuuki Uesugi說："通過對輸入能量和激光射擊次數(shù)的適當(dāng)控制，我們能夠執(zhí)行精確的加工并創(chuàng)造出直徑從70納米--遠小于520納米的激光波長--到超過1毫米的孔。" ZT^PL3j+  
G53!wIW2:  
K} ;uH,  
在通過高性能電子顯微鏡仔細檢查用低能量激光脈沖照射的區(qū)域時，上杉和他的同事發(fā)現(xiàn)，石墨烯上的污染物也已被清除。進一步的放大觀察發(fā)現(xiàn)了直徑小于10納米的納米孔和原子級缺陷，在石墨烯的晶體結(jié)構(gòu)中缺少幾個碳原子。 |=h>3Z=r!  
_@^msyoq  
石墨烯中的原子缺陷既是有害的也是有利的，這取決于應(yīng)用。雖然缺陷有時會降低某些特性，但它們也會引入新的功能或增強特定的特性。 0;XnNz3&  
w^ DAu1  
aX~iY ~?_  
通過高倍率透射電子顯微鏡獲得的圖像。紅色區(qū)域表示納米孔。藍色區(qū)域表示污染物。箭頭所指的位置存在原子缺陷。 OKf/[hyu  
IF1?/D"<  
Uesugi補充說："觀察到納米孔和缺陷的密度隨著激光射擊的能量和數(shù)量成比例增加的趨勢，使我們得出結(jié)論，納米孔和缺陷的形成可以通過使用飛秒激光照射來操縱，通過在石墨烯中形成納米孔和原子級缺陷，不僅可以控制導(dǎo)電性，還可以控制量子級特性，如自旋和谷值。此外，這項研究中發(fā)現(xiàn)的通過飛秒激光照射去除污染物的方法可以開發(fā)出一種非破壞性和清潔地清洗高純度石墨烯的新方法。" KRXe\
Sx  
`mWg$e,  
展望未來，該團隊旨在建立一種使用激光的清洗技術(shù)，并對如何進行原子缺陷的形成進行詳細調(diào)查。進一步的突破將對從量子材料研究到生物傳感器開發(fā)等領(lǐng)域產(chǎn)生巨大影響。