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簡介 @;O"-7Kk E{)X ;kN= 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴展(EPE)系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 mX>N1zAz #j Tkz 在這個工作流程中,我們將使用3個軟件進(jìn)行不同的工作 ,以實現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標(biāo)。首先,我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進(jìn)行仿真。其次,我們在 OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴展系統(tǒng),并動態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后,optiSLang 用于通過修改光柵模型來全面控制系統(tǒng)級優(yōu)化,以實現(xiàn)整個出瞳擴展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 3/gR}\= reR@@O 本篇文章分為上下兩個部分(點此查看上部分) ,下將詳細(xì)描述“第3步:優(yōu)化設(shè)置的內(nèi)容”。(聯(lián)系我們獲取文章附件) 5@RcAQb: 3[Q7'\ 概述 .-YE(}^ GG%;~4#2 我們將首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中構(gòu)建仿真系統(tǒng),它們是動態(tài)鏈接的。 >K'dgJ245 &B5&:ib1D 然后,OpticStudio 通過 Python 節(jié)點鏈接到 optiSLang 進(jìn)行優(yōu)化,如圖1所示。 @q!T,({kx Ab[o~X" TFOx=_.%i [.&JQ 圖1 Lumerical通 過動態(tài)鏈接到 OpticStudio,OpticStudio 通過 Python 節(jié)點鏈接到 optiSLang,優(yōu)化由 optiSLang 控制。 vVMoCG"f yMdu
Zmkc 如圖2所示,EPE 系統(tǒng)包括兩個用于耦入和耦出的光柵。耦出光柵分為幾個區(qū),如左側(cè)所示。每個區(qū)都將經(jīng)過優(yōu)化,以具有不同的光柵形狀。右圖顯示了光在 k 空間中的傳播的變化情況。 r\QV%09R Fah6
&a 8d$|JN;) Zb_A(mnzh 圖 2 光柵布局圖以及光線在K空間的傳播 h1?xfdvGd *04}84?: 第3步:優(yōu)化設(shè)置(optiSLang) .<vXj QE 7#
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