為了研究微透鏡 陣列成像質(zhì)量的影響因素，針對慢刀伺服加工和紫外（UV）光固化工藝制備的微透鏡陣列，引入微透鏡陣列鏡片的誤差，建立基于Zemax光學軟件的光學微透鏡陣列成像仿真模型，分析透鏡單元的高度、曲率半徑、入瞳直徑等誤差對微透鏡陣列成像質(zhì)量的影響。搭建光學測試平臺對評價微透鏡陣列成像性能的光學參數(shù)進行檢測，包括各透鏡單元的焦斑大小、位置誤差及其焦距值，并利用點擴散函數(shù)（PSF）曲線的半峰全寬值對光場成像結(jié)果進行成像質(zhì)量評價，測量得到微透鏡陣列的焦距標準誤差為0.12 mm。將測量結(jié)果與仿真結(jié)果相比，可得PSF曲線的半峰全寬值誤差在12%左右，證明了仿真模型的準確性。利用仿真和實驗的方法建立了微透鏡陣列鏡片誤差與其光學成像質(zhì)量之間的關(guān)系，這可為基于功能實現(xiàn)的光學微透鏡陣列的超精密加工工藝提供理論基礎(chǔ)和指導。
