目前，在幾何量測(cè)量中最重要的
激光技術(shù)是用廣電轉(zhuǎn)換條紋計(jì)數(shù)等方法來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度，這種方法具有
精度高、速度快、量程大、始于非接觸測(cè)量及自動(dòng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)�；诩す�
干涉儀技術(shù)的精密
角度測(cè)量
系統(tǒng)，通過(guò)角度轉(zhuǎn)換裝置將角度量轉(zhuǎn)換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量，由此引起干涉條紋的變化，再通過(guò)相應(yīng)
電路對(duì)干涉條紋進(jìn)行一系列處理，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)大轉(zhuǎn)角的精密測(cè)量。具有
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、誤差恒定、測(cè)量精度高、測(cè)角范圍大、易于數(shù)字化等特點(diǎn)。
s$; v )w$ BshS@"8r 激光干涉儀利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，可以對(duì)數(shù)控設(shè)備（加工中心、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測(cè)量。其中角度測(cè)量主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)軸的角擺測(cè)量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量�？筛呔葯z測(cè)機(jī)床/三坐標(biāo)精度誤差。
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