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菲索干涉系統(tǒng)仿真中波前優(yōu)化問(wèn)題
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菲索干涉系統(tǒng)仿真中波前優(yōu)化問(wèn)題
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菲索
干涉
系統(tǒng)
通過(guò)
標(biāo)準(zhǔn)
參考鏡出射理想波前進(jìn)行檢測(cè),測(cè)量
精度
取決于參考面面形加工精度,但是在進(jìn)行菲索干涉系統(tǒng)
仿真
時(shí),不知道是否需要考慮標(biāo)準(zhǔn)參考鏡前的擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)每一部分的出射的波前質(zhì)量,還是只需要達(dá)到基本擴(kuò)束準(zhǔn)直效果就可以了
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