荷蘭ASML正在研發(fā)新款光刻機:價值高達26億

發(fā)布:cyqdesign 2022-05-20 16:32 閱讀:3311
EDA和光刻機可以說是芯片研發(fā)、生產(chǎn)設(shè)備皇冠上的明珠。最新消息稱,荷蘭ASML正在研發(fā)新款光刻機,價值高達4億美元(約合26億元人民幣),雙層巴士大、重超200噸。原型機預(yù)計2023年上半年完工,2025年首次投入使用,2026年到2030年主力出貨。 +:@^nPfHy  
:G 5p`;hGo  
這款機器應(yīng)該指的就是High-NA EXE:5200(0.55NA),Intel是全球第一個下單的公司。所謂High-NA也就是高數(shù)值孔徑,2nm之后的節(jié)點都得依賴它實現(xiàn)。 S|tA%2z  
a?+C]u?_D  
在ASML公布的今年一季度財報中,EXE:5200已經(jīng)訂出去不止一臺。按計劃,第一臺原型試做機2023年開放,預(yù)計由imec(比利時微電子研究中心)裝機,2025年后量產(chǎn),第一臺預(yù)計交付Intel。 ;xiN<f4B  
EM@|^47$  
Pr} l