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摘要 [V{JuG;s t*<vc]D 在VirtualLab Fusion中,當(dāng)研究制造偏差對(duì)優(yōu)化系統(tǒng)的影響時(shí),可以使用隨機(jī)變化的參數(shù)運(yùn)行。根據(jù)制造工藝的不同,不同參數(shù)的偏差可能遵循不同的隨機(jī)分布規(guī)律。雖然參數(shù)運(yùn)行的默認(rèn)隨機(jī)模式假定均勻分布,但在此用例中,我們想展示如何使用可編程參數(shù)運(yùn)行對(duì)公差中涉及的每個(gè)參數(shù)應(yīng)用不同的隨機(jī)分布。作為說明,我們選擇了鋸齒光柵的例子,為此我們研究了負(fù)一傳輸級(jí)次的最低效率。 %H>vMR-,~ \l{*1lQ` (
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