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本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 [ZZ~^U5 關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSII,ASCII,位圖 vYKKv%LE 所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請一段全版本的試用。 i'H{cN6 相關(guān)Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 K;k_MA310 建模任務(wù) I
^?TabL D\}^<HW WJ<nc+/v: COH0aNp; ?w#V<3= 照射光束強(qiáng)度 衍射擴(kuò)散器 產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 f7Y0L8D 建模任務(wù) yH|[K=?S[ !trt]?*- jV2L;APCq 2 擴(kuò)散器參數(shù): (#k>cA(} —相位層:4 x{6KsYEY —像素尺寸:830*830nm lr'h —口徑:1*1mm #k&"Rv;, —周期:664,83*664,83um Hbu8gqu 2 結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 V(I!HT5.W 2 需要的高度分布計(jì)算 [fx1H~T< 2 蝕刻掩模分解 L.ScC 2 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 0{^@kxV 打開光學(xué)擴(kuò)散器系統(tǒng)
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