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    [分享]衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-09-24
    本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 [ZZ~^U5  
    關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSII,ASCII,位圖 vYKKv%LE  
    所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請一段全版本的試用。 i 'H{cN6  
    相關(guān)Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 K;k_MA310  
    建模任務(wù) I ^?TabL  
    D\}^<HW  
    WJ<nc+/v:  
    COH0aNp;  
    ?w#V<3=  
    照射光束強(qiáng)度               衍射擴(kuò)散器                    產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 f7Y0L8D  
    建模任務(wù) yH|[K=?S[  
    !trt]?*-  
    jV2L;APCq  
    2       擴(kuò)散器參數(shù) (#k>cA(}  
    —相位層:4 x{6KsYEY  
    —像素尺寸:830*830nm lr'h  
    —口徑:1*1mm #k&"R v;,  
    —周期:664,83*664,83um Hbu8gqu  
    2       結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 V(I!HT5.W  
    2       需要的高度分布計(jì)算 [fx1H~T<  
    2       蝕刻掩模分解 L.ScC  
    2       蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 0{^@kxV  
    打開光學(xué)擴(kuò)散器系統(tǒng) Yz(k4K L  
    4QC"|<9R  
    7|%