本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 aeN #<M&$< 關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSII,ASCII,位圖 F5x*#/af 所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷(xiāo)商可申請(qǐng)一段全版本的試用。 b?`2LAgn 相關(guān)Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 xf;>o$oN0P 建模任務(wù) ZPE- +=9iq3<yfS ELnUpmv\
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照射光束強(qiáng)度 衍射擴(kuò)散器 產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 K5LJx-x*j
建模任務(wù) )ddJ\:
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r{r~!=u 2 擴(kuò)散器參數(shù): 9kWI2cLzQt —相位層:4 |z3!3?%R —像素尺寸:830*830nm KZg2`8F —口徑:1*1mm FD E?O]^ —周期:664,83*664,83um `!N}u 2 結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 SN{A@dyt 2 需要的高度分布計(jì)算 cOdRb=?9 2 蝕刻掩模分解 baG_7>Q9H 2 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 a"YVr'| 打開(kāi)光學(xué)擴(kuò)散器系統(tǒng) zOSUYn ?q4`&";{3 o>(<:^x9 1o\2\B=k{ 2 上載
文件 fh)eL<I DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd.
K!ogpd&X& 2 文件在VL_Samples文件夾中
qgl-,3GY%N 光學(xué)擴(kuò)散器系統(tǒng)
XZk%5t|t :^`j:B ^GM3nx$ j~\FDcG*ed 2 點(diǎn)擊Go!按鈕開(kāi)始
模擬擴(kuò)散器系統(tǒng).
L`<#vi 模擬結(jié)果
+Eb-|dM tgCp2`n 2 擴(kuò)散器系統(tǒng)產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度分布
#FAW@6QG 傳輸器提取
wxK71OH [Uq`B&F: 2 雙擊光路徑圖中的Stored Transmission打開(kāi)編輯對(duì)話(huà)框
%K3U`6kHcd 傳輸器(transmission)提取
.?g=mh79( "2C}Pr,p8 2 點(diǎn)擊Show按鈕顯示光路中的transmission.
NVkYm+J# 擴(kuò)散器傳輸
ZMMx)}hS S_Nm?;P J&h59dm- :