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    [分享]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-07-13
    成像系統(tǒng)>包括光柵 }VRv sZ  
    |w)5;uQ&\  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 g@nk.aRw  
    4L:>4X[T  
    IS_Su;w>4  
    c{88m/;eP  
    亮點 P2k7M(I_&  
    -Wo15O"  
     ,-#GX{!  
    M'jXve(=yF  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） ]rX9MA6  
     嚴格分析光柵衍射效率 H7IW"UkBR  
     考慮入射光的方向分布 juno.$ 6  
    ( )|3  
    說明：光源 C|e+0aW  
    |XcH]7Ai"  
    SPwPCI1?  
    g6' !v  
    說明：光束分束器 $p6N|p  
    5:gj&jt;)7  
    P