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摘要 )I]E%ut{4, ?3SlvKI}H` 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應(yīng)。 ]+0-$t7Y y NV$IN% N(vbo &Wd,l$P<O 建模任務(wù) '5ky< yE9JMi0 #!#V!^ o 概述 ibzYY"D: @PwEom`a •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 HKOJkbVZ2^ •接下來,我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 BT>*xZLpS Ccz:NpK+ lNsPwyCoj
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