條紋反射測量技術(shù)具有動態(tài)范圍大、靈敏度高的特點(diǎn)，通過高精度的系統(tǒng)標(biāo)定可以獲得很高的測量精度。本文研究將條紋反射測量技術(shù)應(yīng)用于離軸非球面反射鏡粗拋光階段的面形檢測，使用激光跟蹤儀建立檢測系統(tǒng)坐標(biāo)系，然后將相機(jī)和顯示屏的實(shí)測標(biāo)定數(shù)據(jù)代入坐標(biāo)系并在Zemax軟件中建立測量裝置的理想模型，通過光線追跡得到理想的屏幕像素點(diǎn)位置，采用相移技術(shù)可以得到實(shí)測時屏幕像素點(diǎn)位置，從而計(jì)算得到被測鏡面形的斜率誤差，最后積分得到檢測結(jié)果。文中采用該方法對一塊SiC離軸非球面鏡進(jìn)行了實(shí)測，并與三坐標(biāo)測量機(jī)的結(jié)果進(jìn)行對比，驗(yàn)證了方法的可行性，可用于指導(dǎo)離軸非球面鏡粗拋光階段的加工。
