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摘要 zQG{j\ mfN'+`r R$8{f:Pj 因?yàn)閮A斜光柵在特定衍射級(jí)中具有高效率,故通常被用于將光耦合到光學(xué)光波導(dǎo)中。 如今,它們經(jīng)常應(yīng)用于增強(qiáng)和混合現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對(duì)文獻(xiàn)中的某些傾斜光柵的幾何形狀,具體參數(shù)如傾斜角度,填充因子和調(diào)制深度進(jìn)行分析。 此外,本案例還研究了不同入射角對(duì)衍射效率的影響。 IEMa/[n/ q\]X1N 建模任務(wù) _io'8X2K% :C(/yg 衍射效率與相對(duì)深度 dpw-a4o} 0hV#]`9`gN &UOxS W 在VirtualLab Fusion中通過(guò)傅里葉模態(tài)法(FMM)(也稱為RCWA)進(jìn)行仿真。 0B7G:X0 YLGE{bS YnRO>` ^2nrA pF 參考文獻(xiàn):J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond o_BTo5] Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) Z17b=xJw k#Sr;
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