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摘要 (A )f
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\ 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 7{tU'`P> m\oxS;fxWi -FF#+Z$ V%(T#_E/6 光柵詳細(xì)說明 >Hu3Guik] Aj8zFt] \[G"/]J bE,#, •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 F}.R-j# •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 ]VR79l
[b+B"f6 光柵階次分析器設(shè)置 K]1|#`n |No9eZ8>. •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。
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