光學(xué)干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測試和細(xì)節(jié)分析,特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用最廣泛的表面輪廓檢測技術(shù)之一,正占據(jù)著重要的地位。我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)基于斐索干涉儀的測試光學(xué)系統(tǒng),使用幾種類型的表面作為測試對象,并觀察不同的干涉條紋。此外,還介紹了用于鏡頭測試的馬赫-曾德爾干涉儀。 sB,>4*Zd
Q5s?/r 用于光學(xué)測試的菲索干涉儀 g6. =(je
C8 b%r|^# 利用非序列場追跡技術(shù)建立了菲索干涉儀,給出了不同測試表面的干涉條紋。 4{r_EV[(
a~-^$Fzgy 馬赫-曾德爾干涉儀
U0M>A :9E_L2M 我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了馬赫-曾德爾干涉儀,并演示了元件的傾斜和偏移對干涉條紋的影響。 >WW5Apy[ q|A-h'
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