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摘 要 G_vWwH4XtL .sI*\@w. 斐索干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 &YC Z
L ecaEWIOG 建模任務(wù) 3D32'KO_" B3|h$aKC E-gI'qG\( 1Tl^mS~k 傾斜平面下的觀測(cè)條紋 <LL+\kfTZO ko<u0SjF)u uq?(( fy9mS 圓柱面下的觀測(cè)條紋
r& `o/G0~T) [A~n=m5H zwJB.4@ 球面下的觀測(cè)條紋 E)w6ZwV p[oR4 HWr $d0xJxM "/H B# VirtualLab Fusion 視窗 6d~[j<@2 DBTeV-G9~R 1i=lJmr ^4MRG6G VirtualLab Fusion 流程 bd|ZhRsL 9dS
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