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    [分享]薄元近似與FMM/RCWA [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-08
    作為衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計(jì)算薄衍射元件的衍射效率時(shí)非常有效。 但在另一方面，當(dāng)衍射光柵的周期小到可以與波長相比較時(shí)，這種近似將會(huì)變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進(jìn)行分析，用來比較兩種方法的結(jié)果。 %0]b5u  
    z,YUguc|  
    用于光柵建模的TEA與FMM Ilb |:x"L  
    XF$]KA L0  
    O/oYaAlFF@  
    我們同時(shí)使用TEA和FMM（也稱為RCWA）來分析兩種周期不同的光柵（正弦光柵和閃耀光柵），并比較了兩種方法的結(jié)果。 }yDq\5s Q[  
    q.Z#7~6`3  
    閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析 a' o8n6i  
    >0#q!H,X  
    B-'BJ|*4I  
    在VirtualLab Fusion中，傅里葉模態(tài)方法（FMM）可用于光柵效率的嚴(yán)格分析。