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與傳統(tǒng)光柵相比,尤其是在非傍軸情況下,超光柵具有優(yōu)勢。在此示例中,我們設(shè)計了一個將入射光束分成3x3光束的二維(2D)超光柵。超光柵由圓形納米柱構(gòu)成,并且在VirtualLab Fusion中,我們使用FMM / RCWA評估超光柵的衍射效率。 并且,我們展示了如何使用參數(shù)優(yōu)化工具來提高衍射效率的均勻性。 {W}.z }Xs=x6Mj ~\K+)(\SNp WZRrqrjq 設(shè)計任務(wù) f3-=?Z Q/iaxY# TeQWrms PDX^MYoN 僅位相透射設(shè)計(IFTA) I?"cEp ]}F_nc2L KS'? DO
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